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关键工艺定制化气控设备(GasBox)
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关键工艺定制化气控设备(GasBox)
澳门永利官网 科持为客服出示生产加工厂机或子软件系统GasBox的都交给生产加工厂(OEM)或都交给设计制作生产加工厂(ODM)安全服务。
澳门永利官网 新材料技术的Gas Box可应用于VCR实用型、IGS集脱模等多结构类型的质量基准化化规划、制造出与测式,可法律规定消费者艺请求非常订制化、模组化混合气体传送数据把控系统,支技机戒、机电工程一身化等种订制玩法,可足够泛半导体仪器艺仪器高色度、高计算精度、全自动化、集合化的请求,控制艺安全管理和净化后的的请求,还可自主经营会选择比较特殊防火质量基准化。
气控箱模组(Gas Box)- 气控箱盘面(Gas Panel)气体管......
键工艺定制化气控设备(Gas Box)
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<p>能实现对工艺气体的流量、压力、浓度、混配比及反应时间等方面的精准控制。<br/>Gas Box是一种在半导体工艺设备侧的模组化气体供应系统,是半导体干法工艺设备中极为重要的通用子系统,位于气体输送系统的末端,与......</p>
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