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特种工艺气休输送管控制系统

澳门永利官网 现代科技为光电器件、光电子元器件等泛光电器件相关行业加工工艺制造机台的制造尾气及其他气体供应信息装备(GC/VMB等)的迁移尾气通过没有害化正确处理,操作的混合混合气体货品涉及到SiH4、NH3、HCL、PH3、B2H6、H2、NF3、CHF3等有很大危害性物质有很大危害性混合混合气体。

长用气体正确处理组织形式如下图所示:

-干试/降解式

-烧水清水洗式

-燃烧物式

-清水洗式

-等铝离子手洗式

新工艺及厂务分次配整体
PROCESS & FACILITY SECONDARY DISTRIBUTION SYSTEM

耐腐蚀品卸料系统
GDS/GMS侦测控制菅理机系统
的工艺及厂务二级配整体
生产技术烟气及印刷废气加工整体

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